扬州市透明紫外线杀菌灯定做
发布时间:2024-04-19 00:35:13扬州市透明紫外线杀菌灯定做
高纯度石英制品是半导体材料生产过程中的关键性辅助耗材,其中光掩膜基板主要的基础材料是高纯石英玻璃片,其石英玻璃基片前身是高品质石英锭。半导体产业技术门槛高,对石英制品的纯度及性能要求非常高,所以半导体用石英制品行业的技术水平也非常高。半导体设备制造商为了保证半导体的质量和性能,对石英玻璃供应商实施严格的资质认证,通过认证方可销售半导体石英原材料。美国、德国、日本等发达国家将这些高新技术与战略新兴产业的研究列为重*点,垄断了高*端石英产品生产技术,并限制产品和技术出口,为我国半导体企业的发展带来一些困难,但是同时也是一个发展机遇。结合国内外的发展趋势及我国石英产业存在的问题,包括“十三五”提出全*面加快战略性新兴产业的发展,所以要急需提升我国石英玻璃原材料的技术与装备水平、扩大电子信息产业用高*档石英玻璃原材料的产能,打破国外技术垄断,扭转当前主要依赖进口的局面。
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石英玻璃,是由各种纯净的天然石英(如水晶、石英砂等)熔化制成。线膨胀系数*小,是普通玻璃的1/10~1/20,有很好的抗热震性。它的耐热性很高,经常使用温度为1100℃~ 1200℃,短期使用温度可达1400℃。石英玻璃主要用于实验室设备和特殊高纯产品的提炼设备。由于它具有高的光谱透射,不会因辐射线损伤(其他玻璃受辐射线照射后会发暗),因此也是用于宇宙飞船、风洞窗和分光光度计光学系统的理想玻璃。石英玻璃是一种二氧化硅单一组分的特种工业技术玻璃。这种玻璃硬度大可达莫氏七级,具有耐高温、膨胀系数低、耐热震性、化学稳定性和电绝缘性能良好,并能透过紫外线和红外线。除氢氟酸、热磷酸外,对一般酸有较好的耐酸性。按透明度分为透明和不透明两大类。按纯度分为高纯、普通和掺杂三类。用水晶,硅石,硅化物为原料,经高温熔化或化学气相沉积而成。熔制方法有电熔法、气炼法等。
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我国石英行业从上世纪60年代开始起步,70年代逐渐发展形成较为完整的产业,到上世纪80年代后期,石英玻璃行业才得以迅速发展,技术根源日趋成熟,机械装备得到充分改进和完善,石英玻璃行业的发展出现新的局面。国内石英企业生产规模都较小,几十家企业当中年产值过亿元的只有两家,产值千万元以上的不超出10家。产品档次低,远远跟不上我国信息、微电子等高新技术产业快速发展的需求。发达国家均将石英玻璃作为新材料的重要组成部分,放在优先发展的地位并加以支持。我国也将石英玻璃列入了国家高新技术产业这次的重点支持对象。石英玻璃产业有了长足发展,微电子、信息、国防等支柱产业和战略性产业所需大量石英玻璃,目前国内产品的性能还远不能满足要求,大部分依靠进口供应。在微电子工业用超纯石英玻璃制品领域,德国劳氏公司已可生产40英寸超大直径的石英坩埚产品,纯度(13种杂质元素的总含量)可达2ppm,生产的大规格石英管直径可达500mm以上,纯度在10ppm以下,基本无波纹。在光纤用光波导级石英包层管领域,美国和德国生产的纯度较高,二氧化硅含量大于五个9,OH含量≤1ppm。而在航天技术用宇航级光学石英玻璃、激光技术用超纯合成石英玻璃领域,国外可做到直径750mm以上,杂质含量≤01ppm,满足光学级三个一类要求。
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1.石英玻璃制品是贵重的材料,使用时须轻拿轻放,十分小心;2.各种石英玻璃都有一个*高使用温度,使用时不应超过此温度,否则会析晶或软化变形;3.需高温使用的石英玻璃,使用前须擦拭干净。可以用百分之十浓度的氢氟酸或洗液浸泡,然后用高纯水清洗或酒精处理。操作时应戴细线手套,不允许用手直接触及石英玻璃;4.高温下允许连续使用石英玻璃制品,这对延长石英玻璃的寿命和提高耐温性能是有好处的。反之,高温下间歇使用石英玻璃制品,其使用次数是有限的;5.石英玻璃材质虽具有*高的热稳定性,可以经受剧烈的温差骤变。但实际使用时,由于残余应变和产品形状不同,热稳定性有一定的差别,使用时应加以注意;6.石英玻璃系酸性材料,高温使用时严格避免同碱性物质(如水玻璃、石棉、钾钠的化合物等)接触,否则将大大降低其抗结晶性。
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1 、石英管软化的软化点为1270度,在1200度使用时不要超过3小时。2 、本管式炉一般情况下不建议客户通氢气,除通非氢气含量在*限爆炸浓度以外,如果客户需要用管式炉通浓度在爆炸浓度以外的氢气,一定要做好安*全措施,通气体时炉管两端不要站人,如果通氢气请采用不锈钢管,由于不锈钢的热传导系数比石英大,因此不锈钢两端需要水冷,否则O型圈温度过高无法密封, 3、 保持炉管内清洁卫生,炉管内不能残留与SiO2反应的物质,烧物料时,为了使炉管的使用寿命更长,不要直接把物料放在炉管上,用舟型坩埚盛着(如下图所示)。4 、加热时炉管内请务必放陶瓷炉塞,否则炉管两端温度较高,法兰里的O型圈无法承受较高的温度,使得气密性不好,放炉塞与炉子的两端有利于形成均衡的温场。 5 、加热时炉管内请务必放氧化铝炉塞,一边放2个,共4个,两边炉塞zui里端距离可以在450mm左右(因为HTL1200对开式管式炉的加热段长度为400mm),如果不放炉塞,炉管两端温度较高,法兰里的O型圈无法承受较高的温度,使得气密性不好,炉管两端放上炉塞有利于形成均衡的温场。6 、石英管的耐温度与其纯度有关系,纯度越高,耐温就越高。
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如果采用多晶硅和石英玻璃的联合制备法,由还原炉里出来没有参加反应的还原料不进入回收系统,而被当成生产石英玻璃的原料直接进入制砣机,因此不用降温。也就是说,采用多晶硅和石英玻璃的联合制备法生产多晶硅是可以避免上述浪费的,可以节约80%~90%的能源。这只是生产多晶硅,采用多晶硅和石英玻璃的联合制备法来生产石英玻璃也一样具有明显的节能优势。采用传统的单项生产法生产石英玻璃,也需要将送进制砣机的合成料加热,而且升温的幅度要更大。一般认为,制砣机的反应区里要达到1400~1600℃的高温,而要达到如此高温需要消耗大量的能源。传统的单项生产法生产石英玻璃是靠氢氧燃烧来获取高温的。我们知道,在单项生产的合成料里已经含有氢气了,可为了达到此高温,还得另外向制砣机的反应区里通人燃料氢气和助燃的氧气,而且燃料氢气的量要大于合成料所含的氢气。如果采用多晶硅和石英玻璃的联合制备法,由还原炉里出来没有参加反应的还原料被当成合成料直接进入制砣机。该料温度已经很高,在1150~1250℃左右。这样的料通入制砣机就不用再另外向制砣机的反应区通人燃料氢气,因为该料所含的氢气燃烧所产生的热量已经完全可以满足化学反应的需要了。由此可以看出,采用多晶硅和石英玻璃的联合制备法来生产石英玻璃可以节省50%~6()%的氢气,可见这些数字是相当可观的。