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目前传统的石英制备方法有电熔法、气炼法、直接合成法、间接合成法、等离子化学气相沉积和溶胶凝胶法等。其中电熔和气炼方法是指使用天然结晶石英（水晶或者纯的硅石）经过熔融制成石英；而剩余四种均为合成法，是通过硅化物（SiCl4）经过化学气相沉积制成石英。石英因制备方法的不同，在SiO2纯度、羟基含量等指标上表现不同，从而导致不同的材料特性。电熔法即是石英原料在真空（5×10－2mmHg）或低压惰性（N2）介质中电熔。气炼法是采用氢氧焰或其它碳氢化物（乙炔）等可燃气体产生高热来熔化物料。由于是水解过程制备，石英含有较多的水分，羟基（OH-）大约为500-1500ppm，并含有溶解在玻璃结构中的H2。因为羟基的存在，玻璃的耐热性变差，且对红外区域吸收能力较强，该类玻璃不适合应用于半导体的热处理器材以及光纤。但是由于羟基的存在，玻璃的紫外光透过率高，且能长时间的接受紫外激光的照射，所以适用于做光刻掩膜版的基板和激光光刻系统内的光学透镜。间接合成使用的原料也是SiCl4，H2和O2气体，但该方法先让SiO2微粒堆积成棒，所得的棒为多孔质且不透明结构，经烧结后可制成透明的玻璃棒。等离子法也是合成不含-OH的石英的方法之一。利用由高频电磁场的感应耦合作用而产生等离子体灯炬，内核温度高达15000K，熔料被融化。

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如果采用多晶硅和石英玻璃的联合制备法，由还原炉里出来没有参加反应的还原料不进入回收系统，而被当成生产石英玻璃的原料直接进入制砣机，因此不用降温。也就是说，采用多晶硅和石英玻璃的联合制备法生产多晶硅是可以避免上述浪费的，可以节约80％～90％的能源。这只是生产多晶硅，采用多晶硅和石英玻璃的联合制备法来生产石英玻璃也一样具有明显的节能优势。采用传统的单项生产法生产石英玻璃，也需要将送进制砣机的合成料加热，而且升温的幅度要更大。一般认为，制砣机的反应区里要达到1400～1600℃的高温，而要达到如此高温需要消耗大量的能源。传统的单项生产法生产石英玻璃是靠氢氧燃烧来获取高温的。我们知道，在单项生产的合成料里已经含有氢气了，可为了达到此高温，还得另外向制砣机的反应区里通人燃料氢气和助燃的氧气，而且燃料氢气的量要大于合成料所含的氢气。如果采用多晶硅和石英玻璃的联合制备法，由还原炉里出来没有参加反应的还原料被当成合成料直接进入制砣机。该料温度已经很高，在1150～1250℃左右。这样的料通入制砣机就不用再另外向制砣机的反应区通人燃料氢气，因为该料所含的氢气燃烧所产生的热量已经完全可以满足化学反应的需要了。由此可以看出，采用多晶硅和石英玻璃的联合制备法来生产石英玻璃可以节省50％～6()％的氢气，可见这些数字是相当可观的。

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石英是一种主要成分是二氧化硅的无机非金属矿物，是透明或半透明的晶体，一般为无色或乳白色，质地坚硬，常含有少量杂质成分。当杂质较少时，石英呈现透明的晶体状(即天然水晶)，而当杂质较多时，透明度则会降低。石英是地球表面分布*广的矿物之二其物理性质和化学性质均十分稳定是生产石英砂的原料，常用的石英矿石通常称为硅石。石英玻璃是由二氧化硅单一组分构成的特种工业技术玻璃，拥有优越的物理、化学性能，综合性能属于玻璃材料之*，被称为“玻璃王”，被广泛用于光源、电子、光通讯、光伏、仪表、激光、航天核技术和国防等领域。普通石英玻璃就是用天然水晶或硅石作原料经高温熔制而成;而还有一种高纯优*质石英玻璃，则使用无机或有机含硅的液体化合物如四氯化硅经火焰水解合成工艺制成，称为合成石英玻璃。石英玻璃的热膨胀系数*小，能承受剧烈的温度变化，将石英玻璃加热至1100℃左右，放入常温水中也不会炸裂。石英玻璃在紫外线到红外线的整个光谱波段都有较好的透光性能，可见光透过率在百分之九十三以上，特别是在紫外光谱区，透过率可达80以上。石英玻璃的电阻值相当于普通玻璃的一万倍，是很好的电绝缘材料，即使在高温下也具有良好的绝缘性能。石英玻璃的软化点温度约1730℃，可在1100℃下长时间使用，短时间使用温度可达1450℃除氢氟酸外，石英玻璃几乎不与其他酸类物质发生化学反应，其耐酸能力是陶瓷的30倍，不锈钢的150倍，尤其是在高温下的化学稳定性，是其他任何工程材料都无法比拟的。

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石英玻璃的结构十分松弛，甚至在高温下还允许某些气体的离子通过网络进行扩散，其中以钠离子的扩散为*快。石英玻璃的这一性能对于使用者尤为重要，例如，半导体工业用石英玻璃作为高温容器或扩散管时，由于半导体材料要求很高的纯度，所以要求与石英玻璃接触的作为炉衬的耐火材料必*须预先经过高温和清洁处理，除掉钾、钠等碱性杂质，然后才能放入石英玻璃内使用。石英玻璃的光学性能有其独到之处，它既可以透过远紫外光谱，是所有透紫外材料*优者，又可透过可见光和近红外光谱。用户可以根据需要，从185-3500mμ波段范围内任意选择所需品种。由于石英玻璃耐高温，热膨胀系数*小，化学热稳定性好，气泡、条纹、均匀性、双折射又可与一般光学玻璃媲美，所以它是在各种恶劣场合下工作具有高稳定度光学系统的必不可少的光学材料。石英玻璃的结构，杂质含量，OH基因及NO、CO等含量是影响光谱透过率的主要因素，氧原子结合不良在0.24μ处则有吸收峰，含有OH基团的石英玻璃，在2.7μ处由于分子振动将产生明显的吸收峰，紫外透过率低主要是由于金属杂质多造成原子吸收光谱所致。 石英玻璃的光谱特性曲线 电熔石英玻璃是很好的透红外材料，但由于杂质的存在，紫外透过率低。氢氧焰熔制水晶所获得的石英玻璃，由于氧结构缺陷，在0.24μ处有吸收峰，同时含有OH基团，所以红外透过*低。用合成原料气炼的高纯光学石英玻璃是*好的透紫外材料，但在2.7μ处有严重的OH吸收峰。只有用合成原料通过电熔或无氢火焰熔融而成的光学石英玻璃，才能很好地透过从远紫外到近红外的连续光谱。石英玻璃的热膨胀系数小，为5.5×10-7/℃，只有普通玻璃的1/12～1/20.标准规定将试样灼烧到1200℃后急速投到冷水中，反复三次以上不允许炸裂。石英玻璃加入适量钛元素后还可做成零膨胀系数的材料，在激光技术、天文和尖*端技术中。

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石英玻璃主要用于电光源，半导体，光学新技术等方面。新型光源方面：做高压水银灯、长弧氙灯、碘钨灯、碘化铊灯、红外线灯和杀菌灯等。半导体方面：是半导体材料和器件生产过程中不可缺少的材料，如生长锗，硅单晶的坩埚、舟皿炉芯管和钟罩等。在新技术领域中：用其声、光、电学的上佳性能、做雷达上的超声延迟线，红外跟踪测向，红外照相、通迅、摄谱仪、分光光度计的棱镜，透镜、大型天文望远镜的反射窗，高温作业窗、反应堆、放射性装置；火箭，导弹的鼻锥体，喷嘴和天线罩：人造卫星的无线电绝缘零件，辐射；热天秤，真空吸附装置，精*密铸造等。石英玻璃还用于：化工、冶金、电工、科研等方面在化工方面：可做高温耐酸性气体的燃烧、冷却的和通风装置，酸性溶液的蒸发，冷却吸物收，贮存装置,蒸馏水,盐酸、硝酸、硫酸等的制备和其它物理化学实验用品。在高温业作方面：可做光学玻璃的，坩埚成萤光体客气，电炉炉芯管，气体燃烧辐射体，在光学方面：石英玻璃和石英玻璃棉可作火箭的喷咀，宇宙飞船防热罩和观察窗等，总之，随着现代科学技术的发展，石英玻璃在各个领域方面得到更加广泛的应用。