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多晶硅和石英玻璃的联合制备法生产是连续的，设备是串联的，是将上一个产品的尾气或尾液作为下一个产品的原料，使本应作为废气排出的尾气得到了综合利用。因此，它不仅可以减少废气的排放量，而且还可以减轻对环境的污染。采用传统的单项生产法生产多晶硅，要放出尾气，即使有了由冷冻分离器和氢气回收组成的回收系统，也还是要排放出尾气，只不过，尾气的数量少得多。上述尾气是由没有参加反应的还原料与参加反应后产生的废气共同组成。没有参加反应的还原料主要是由氢气和四氯化硅组成；参加反应后产生的废气主要是氯化氢。氢气的排放不会对环境造成污染，可四氯化硅和氯化氢就不同了，它们都是有毒物质，会对环境造成严重的污染，是不可以直接排放到大气中的。四氯化硅是有强烈刺激性的物质，可以使人窒息。据说，在第二次世界大战时德国人曾经想把四氯化硅当作化学武器来使用，由此可以想像到它的危害有多大了。氯化氢气体的毒性也是相当大的，它遇水会变成三大强酸之一的盐酸，对人体、建筑物、设备、环境都有极大的危害。采用传统的单项生产法生产石英玻璃，也要排放出尾气。该尾气中也同样含有有毒的氯化氢，因此也同样会对环境造成危害。如果采用多晶硅和石英玻璃的联合制备法来生产多晶硅和石英玻璃，尾气问题就会解决了。多晶硅和石英玻璃的联合制备法生产多晶硅的还原炉放出尾气没有直接放空，而是被直接送入制砣机里来生产石英玻璃。这样一来，生产多晶硅的尾气污染问题就会大大减轻了。采用多晶硅和石英玻璃的联合制备法生产石英玻璃，制砣机出来的尾气被送人尾气处理系统。该尾气处理系统可将制砣机放出来的尾气转变为稀盐酸和二氧化硅。二氧化硅是无害的，它的颗粒细小而且纯度极高，是高级的纳米级材料，其用途是比较广的。它不仅可以成为制药、制漆添加剂，而且还可以成为很多化工生产的原材料。稀盐酸是有害的，但可以把它回收，浓缩成为成品酸。成品盐酸也是重要的化工产品，用途广泛。稀盐酸也可以不回收，只要再加进一些碱，使其中和，危害就没有了，也就可以排放了。由此看来，采用多晶硅和石英玻璃的联合制备法来生产多晶硅和石英玻璃，不仅可以减少废气的排放量，而且还可以减轻对环境的污染。

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石英玻璃是二氧化硅单一成分的非晶态材料，其微观结构是一种由二氧化硅四面结构体结构单元组成的单纯网络，由于Si-O化学键能很大，结构很紧密，所以石英玻璃具有独特的性能，尤其透明石英玻璃的光学性能非常优异，在紫外到红外辐射的连续波长范围都有优良的透射比。石英玻璃采用高纯度的硅砂作为原料，制作的传统方法是熔融-淬灭方法（加热材料到熔化温度，然后快速冷却到玻璃的固态相）；制作高纯度和紫外透射比的透明玻璃需硅的汽化、氧化成二氧化硅并加热溶解等过程。石英玻璃的形成是由于其熔体高温黏度很高引起的结果。用于制作半导体、电光源器、半导通信装置、激光器，光学仪器，实验室仪器、电学设备、医疗设备和耐高温耐腐蚀的化学仪器、化工、电子、冶金、建材以及国防等工业，应用十分广泛。高纯石英玻璃可制光导纤维。随着半导体技术的发展，石英玻璃被广泛的用于半导体生产的各项工序中。比如，直拉法把多晶转化成单晶硅；清洗时用的清洗槽；扩散时用的扩散管、刻槽舟；离子注入时用的钟罩等等。

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失透（又叫析晶性）是石英玻璃的一个固有缺陷，从热力学观点看，石英玻璃的内能高于结晶态方石英，属热力学上不稳定的亚稳态，当温度高于1000℃时，SiO2 分子振动加速，经一段较长时间的重新排列、定向便形成结晶。失透性是以晶核成长速度来表示的，不透明石英玻璃在1520℃、透明石英玻璃在1620℃析晶速度分别达到*大值。析晶主要出现在表面，其次是内部缺陷处，原因是这些地方容易沾污，引起杂质离子的局部集聚，特别是碱离子（如K、Na、Li、Ca、Mg等）进入网络后引起粘度降低，促使失透加速。由于石英玻璃的热膨胀系数和比重同析晶产物β-方石英相近，所以在高温下连续使用时，尽管析晶区不断扩大，但体积变化并不明显，仍可满意地继续使用，此时尚可减轻玻璃的塑性变形，使耐火度提高。当析晶产物冷却到800℃时，则出现细小的龟裂网络。继续冷却到200-275℃时，则出现方石英从高温型到低温型（即β-方石英→a-方石英）的结构变化，并伴随着发生体积聚变，如果析晶层很深，则石英玻璃亦随之破裂。由于析晶常常出现在有杂质的地方，所以高温使用前的表面状态及周围耐火材料、气氛十分重要。石英玻璃属酸性材料，除氢氟酸和热磷酸外，对其它任何酸均表现为惰性，是*好的耐酸材料。在常温下碱和盐对石英玻璃的腐蚀程度也是*微的，因此不排除在这些试剂中使用石英玻璃。透明石英玻璃比不透明石英玻璃具有更好的化学稳定性，这是因为后者由于气泡的存在暴露在腐蚀液中的表面积增加所致。石英玻璃不吸湿，不风化。石英玻璃对所有碱和碱土化合物都非常敏感，这些化合物*轻微的痕量也会促使石英玻璃在高温下产生析晶。

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含有硼、硅、磷、氟、砷、硒等非金属和含有钾、钠、钙、镁、锌、镉、铯、钇、锑、铋等金属的有机物在分析过程中，生成的氧化物、酸、碱、盐、微尘类物质会损害石英管，量小造成石英管的腐蚀，量大则直接导致石英管的破裂，有许多还毒化管内催化剂。因此在做这类物质分析时，应该更换陶瓷或不锈钢灰分管以保护石英反应管，并在反应管内填充或样品上覆盖相应的氧化吸收剂，防止其副反应发生。如含氟样品可在反应管内填充氧化镁、银盐、红铅类催化剂；含硅样品上可覆盖氧化钨和氧化铬或氧化铜粉末；含碱金属、碱土金属的样品，可覆盖五氧化二钒和三氧化钨等催化剂，还可根据副反应发生的类型和过程添加多种氧化剂的混合物。碱性样品严重损害石英管，建议更换不锈钢反应管。分析一些在使用温度下熔融的物质，量大时会粘附于石英管上，降温时两者的膨胀系数不同，致使石英管破裂，这类样品若未采取相应措施，慎做！爆炸性化学品分析时其剧烈反应瞬间产生的高热和冲击力会令石英管炸裂，这类样品若无保护性措施，勿做！